以尖端量測助臺灣產業升級　工研院深耕35年建立國家度量衡計量標準

▲工研院日前舉辦「量測35週年慶」。第一排從左起：量測技術發展中心副執行長陳炤彰、量測技術發展中心執行長林增耀、工研院副院長彭裕民、量測技術發展中心副執行長藍玉屏、量測技術發展中心業務長吳登竣。（圖／工研院提供)

【焦點時報/記者羅蔚舟報導】度量衡是民生、社會、科技以及國際貿易發展的重要基礎，在經濟部支持下，工研院量測技術發展中心執行國家度量衡標準實驗室，持續從「國際計量標準」、「推動產業化」與「協助能源測試驗證」三方面為產業提供創新量測服務，不僅建立下世代半導體建立前瞻量測技術，同時，也協助臺灣太陽能產業標準檢驗證與新產品開發。工研院表示，未來將以精準量測扶植新創公司，下半年也規劃成立以半導體尖端量測技術之新創公司，力助國內半導體產業符合國際標準。

▲工研院於2018年投入矽晶球法之相關技術建置，以精準實現由普朗克常數所定義之公斤，使臺灣產業符合國際標準並在國際間具有領導優勢。（圖／工研院提供)

成立至今邁入35年的工研院量測技術發展中心，日前工研院「量測35週年慶」，分享創新量測技術研發、建立量測標準與檢驗證服務等重要成果；工研院量測中心今日在台灣高科技產業扮演的關鍵角色，特別是在國際化和高品質等拓展力度方面，歸功於33年前的主任徐章博士「前瞻遠見」，在其策略性的科技管理風格建構量測中心在標準領域的精實基礎下，他當年自信豪言說，量測中心建立的國家度量衡標準，未來勢必力助台灣的半導體、光學、光電、資通訊及精密等科技產業邁向國際化，更是台灣打造科技島推向全球舞台競爭的礎石。如今看來，工研院量測中心雖未被擴大編制升格成為所級組織，但在工研院輔導產業升級及扶植新興產業發展上，量測中心這35年來發揮「小兵立大功」關鍵效應，不得不令人折服當年徐章主任領導的團隊立下汗馬功勞。

工研院副院長彭裕民指出， 1987年工研院受經濟部委託執行國內最高量測標準之「國家度量衡標準實驗室」，工研院並推進設立「量測技術發展中心」，除了為國內度量衡標準把關之外，35年來致力於新技術研發之量測標準檢驗證，成為臺灣產業成長、國際交流最堅實的後盾。工研院透過深厚的量測實力因應產業的快速發展，率先開發前瞻性技術檢測，建立工業量產良率監控的關鍵工具，協助國內半導體大廠轉型升級。近年全球面臨極端氣候挑戰，工研院以科學為基礎，研發綠色計量標準創新技術更是絕無旁貸，期許在淨零碳排的全球趨勢下，提供臺灣產業全面的檢驗證與標準定訂，協助產業實現低碳綠色轉型。

工研院量測中心執行長林增耀表示，過去35年感謝歷屆量測中心的主管帶領下，致力於建立與維持國家計量標準、發展量測技術產業應用、開發精密檢測儀器與設備、執行醫療器材驗證、以及能源與環境相關量測的研究與發展，也成功彰顯在「國際計量標準」、「推動產業化」、「協助能源測試驗證」三項領域的創新研發能量。

在「國際計量標準」中，隨著國際基本單位的重新定義，工研院於2018年投入矽晶球法之相關技術建置，以精準實現由普朗克常數所定義之公斤，確保國家最高量測標準及自主追溯；在「推動產業化」部分，致力半導體前段製程突破與異質整合的市場需求，例如：「GAA製程X光量測技術」滿足半導體前段製程奈米尺寸三維的複雜需求，率先布局下世代半導體關鍵技術，此技術更於下半年預計成立的半導體尖端量測公司，可望成為產業在國際市場競爭的重要助力；在「能源測試驗證」中，太陽光電計量實驗室取得國際IECEE CBTL實驗室認證資格，依據國際標準發展趨勢，協助國內廠商進行品質改善與新產品開發，並於2021年打造全臺唯一行動式太陽光電測試車，協助臺灣在全球再生能源市場上更具競爭力。

回顧35年來，工研院推動國內量測技術與標準，成績有目共睹，國家度量衡標準實驗室以工研院光復院區的16館建築物為基地，持續肩負建立放諸四海皆準的國家技量標準之使命。工研院量測技術研發之另一個重要據點，則是工研院光復院區12館建築物，原為日治時期1936年所設立的總督府天然瓦斯研究所，是臺灣最早成立的工業研究機構，在臺灣科學研究史上別具意義，未來也將持續為臺灣精準量測貢獻心力。